| Titre : | Fabrication et observation d'objets à l'échelle nanométrique : les procédés de fabrication |
| in : | |
| Type de document : | ressource en ligne |
| Année de publication : | 2007 |
| Format : | [env. 5p.] |
| Langues: | Français |
| Catégories : |
[Motbis] 1310 physique > étude physique > électricité : physique > électronique > microélectronique |
| Résumé : | Le point en 2007 sur les techniques de fabrication mises en oeuvre pour l'élaboration de nano-objets dans l'industrie de la microélectronique : approche top down et approche bottom up (avec notamment les techniques ayant recours aux agrégats et aux colloïdes). |
| En ligne : | http://www.cnrs.fr/cw/dossiers/dosnano/decouv/02/02_4/00_1.htm |
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